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科技“湘”力量丨突破,8英寸
发布时间:2024-09-02编辑:湖南政协新闻网
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什么是湖南力量

是心忧天下的胸怀

以湖湘之所能服务国家所需、人民所盼

是敢为人先的勇气

向着更高更深更快更强,不断向上登攀

是坚韧不拔的毅力

无惧艰难险阻坚定前行

是兼收并蓄的包容

集众家之所长,团结协作、共同攻坚

湖南省科学技术厅特别策划

《科技“湘”力量》系列视频

集中展示一批

重大科技创新成果

与你一同领略

可挑起千钧重担的科技力量

第三期《突破,8英寸》

见证国产8英寸碳化硅外延设备

走过的自主创新之路


成果名片

8英寸碳化硅外延设备,碳化硅外延片是制作碳化硅电力电子器件的关键材料,在用于生产碳化硅外延片的国产8英寸碳化硅外延设备研制攻关过程中,中国电科第四十八研究所团队先后解决了衬底易开裂、外延层厚度均匀性难控制等问题,实现了大尺寸外延材料生长所需的均匀、稳定温流场分布,进一步推进碳化硅电力电子器件制造降本增效,标志着国产第三代半导体专用核心装备迈进“8英寸时代”。


来源:科技湖南


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